RTP का क्या मतलब है?

रैपिड थर्मल प्रोसेसिंग (RTP) एक सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया को संदर्भित करता है जो कई सेकंड या उससे कम समय के समय पर उच्च तापमान (1,200 डिग्री सेल्सियस या उससे अधिक) तक सिलिकॉन वेफर्स को गर्म करता है। हालांकि, शीतलन के दौरान, वेफर तापमान को धीरे-धीरे नीचे लाया जाना चाहिए ताकि वे थर्मल शॉक के कारण टूट न जाएं। ऐसे तीव्र ताप दर अक्सर उच्च तीव्रता वाले लैंप या लेजर द्वारा प्राप्त किए जाते हैं।

Relative Terms